對(duì)于氣敏傳感器來(lái)說(shuō)，的是制備過(guò)程，而制備過(guò)程又可分為氣敏元件的制備和氣敏材料的制備，由于目前的生產(chǎn)和生活中使用的是半導(dǎo)體氣敏傳感器，所以本篇文章主要介紹半導(dǎo)體式氣敏傳感器的制備工藝。

　　1、氣敏元件制備方法

　　氣敏元件是氣敏傳感器的核心，所以氣敏元件的制備尤為重要，主要是其材料的選用。氣敏元件的制備方法主要有燒結(jié)法、薄膜法和厚膜法。

　　燒結(jié)法主要應(yīng)用于SnO2型氣敏傳感器的氣敏元件制備，是指將氣敏元件的電極和加熱器埋在金屬氧化物中，然后利用高溫加熱直至成型，再借助低溫來(lái)燒結(jié)。燒結(jié)法所用的高溫一般為200~300℃。

　　薄膜法是用來(lái)制備ZnO氣敏元件，采用真空鍍膜工藝或?yàn)R射工藝，在石英或者陶瓷基片上制成金屬氧化物薄膜，這便構(gòu)成了薄膜型氣敏元件。

　　厚膜法是指將氣敏材料與硅凝膠混合制成厚膜膠，然后在高溫下燒結(jié)，制成厚膜型氣敏元件，厚膜法所用的溫度一般為400~800℃，此方法可進(jìn)行批量生產(chǎn)。

　　2、氣敏材料制備方法

　　氣敏材料制備需要考慮多種因素，比如制備的成本、材料的純度和操作的難易程度等。氣敏材料的制備方法主要有：物相沉積法、化學(xué)氣相沉積法和凝膠-溶膠法等。

　　物相沉積法又稱(chēng)為熱蒸發(fā)法。使用該種方法制成的氣敏材料純度較高，但是此種方法對(duì)操作和使用的設(shè)備要求較高。熱蒸發(fā)法利用真空蒸發(fā)、激光等方法將原料制成等離子體，然后在的介質(zhì)中使其凝結(jié)成為所需要的氣敏材料。

　　化學(xué)氣相沉積法是利用兩種或兩種以上的氣體原料進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)，之后通過(guò)冷凝形成納米粒子。此方法主要用來(lái)制備半導(dǎo)體氣敏傳感器的氣敏材料，制備的過(guò)程易于控制和操作且的材料純度較高，但是的氣敏材料的粒子尺寸較大。

　　凝膠-溶膠法廣泛使用于制備氣敏性金屬氧化物薄膜。此種方法的操作簡(jiǎn)便、的氣敏材料粒子活性較高、材料的純度也很高，但是制備過(guò)程中的pH值和膠凝的速度會(huì)影響到材料的制備。凝膠一溶膠法是將原料分散在溶液中并經(jīng)過(guò)水解形成活性單體，活性單體聚合成為溶膠然后生成凝膠，經(jīng)過(guò)處理等到納米粒子。

　　氣敏傳感器產(chǎn)業(yè)正向著規(guī)模化、化和自動(dòng)化方向發(fā)展，由于近些年來(lái)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，氣敏傳感器也成為了一種的重要產(chǎn)品，新型氣敏材料了深入的，氣敏傳感器技術(shù)也取得了較大進(jìn)步，應(yīng)用的也越來(lái)越廣泛，在工業(yè)方面和民用方面都了充分的應(yīng)用和發(fā)展。在工業(yè)方面主要體現(xiàn)在氧氣傳感器、毒性氣體傳感器等，在居民日常生活方面，主要應(yīng)用于監(jiān)控氣體的泄露，防止火災(zāi)的發(fā)生以及檢測(cè)酒精的濃度，降低發(fā)生交通事{l改的幾率等。

　　當(dāng)今全世界正面臨著嚴(yán)峻的環(huán)境問(wèn)題，環(huán)保被擺在位置，氣敏傳感器要想的發(fā)展，就向低功耗、低成本、多功能的方向發(fā)展。具體應(yīng)從以下三個(gè)方面著手：①提高其反應(yīng)的靈敏程度和其工作性能、降低消耗，減少氣敏材料制備過(guò)程的能耗；②要減少成本、簡(jiǎn)化操作過(guò)程、縮小氣敏傳感器的體積，使其方便的被人們所使用；③要把氣敏傳感器向多功能發(fā)展，發(fā)現(xiàn)其的用途，使氣敏傳感器的使用范圍較現(xiàn)在跟為廣泛。

　　除此之外，氣敏傳感器發(fā)展還應(yīng)該注重市場(chǎng)的走向，以國(guó)民經(jīng)濟(jì)現(xiàn)代化需求和人民生命財(cái)產(chǎn)服務(wù)為目標(biāo)，大力新型氣敏元件傳感器，生產(chǎn)的氣敏元件傳感器，做好宣傳工作，廣泛使用氣敏傳感器，發(fā)展和完善氣敏元件傳感器、變送器、報(bào)警器和應(yīng)用裝置系統(tǒng)等氣敏綜合應(yīng)用技術(shù)，組建有競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)集團(tuán)，有自己知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，推動(dòng)我國(guó)氣敏技術(shù)跨上一個(gè)新臺(tái)階。在具備條件的企業(yè)或企業(yè)集團(tuán)建立技術(shù)中心，配備手段；產(chǎn)品工藝方面，解決厚膜、電化學(xué)和集成工藝技術(shù)，主要產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到世界同期水平，具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新產(chǎn)品如常溫低功耗(電池供電)氣敏傳感器，新型環(huán)境氣敏傳感器等。