

在現(xiàn)代測試技術中,傳感器是一種以的精度和規(guī)律把被測量轉換為與之有確定關系的,便于應用的某種物理量的測量裝置。傳感器的分類方法有很多,按作用原理常用的傳感器可以分為:電阻式傳感器、電感式傳感器、電容式傳感器、壓電式傳感器、光電式傳感器、熱電式傳感器、核輻射式傳感器、磁電式傳感器和數(shù)字式傳感器等。新型傳感器可以分為:光纖傳感器、生物傳感器、濕度傳感器、紅外傳感器、固態(tài)圖像傳感器、霍爾傳感器、智能式傳感器和超聲波傳感器等。
1、傳感器定義及分類
根據(jù)現(xiàn)行標準《傳感器通用術語》(GB/T7665-2005),傳感器的定義:能感受規(guī)定的被測量,并按照規(guī)律轉換成可用信號的器件或裝置。通常由直接響應被測量的敏感元件和產生可用信號輸出的轉換元件及相應的電子線路組成。傳感器技術與計算機技術及通信技術組成了現(xiàn)代信息技術的3大基礎。傳感器的分類有多種形式,按轉換原理可分為應變式、壓電式、壓阻式、電容式、電感式、電化學式和光纖式等;按被測量可分為力、熱、光、磁、速度、氣體、濕度和生物等傳感器;按輸出量可分為模擬量傳感器和數(shù)字量傳感器;按是利用結構參數(shù)的變化還是利用材料的物理(或化學)特性的變化進行信號轉換,可分為結構型傳感器和物性型傳感器,兩種特征兼有的為復合型傳感器。
2、傳感器技術發(fā)展方向
傳感器是實現(xiàn)自動檢測和自動控制的環(huán)節(jié),技術內容涉及力學、傳熱學、聲學、光學、電學、磁學、生物學和化學等眾多學科,是集光、機、電等多方面工程技術于一體的現(xiàn)代前沿技術。傳感器技術發(fā)展方向是微型化、智能化、集成化及網絡化。
(1)微型化
傳感器技術與微電子技術相結合,使傳感器產品趨于微小型化,其敏感元件的特征尺寸已接近納米級,并且隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝的進步和封裝結構的創(chuàng)新,產品在功耗、性能和價格上都優(yōu)越性。
(2)智能化
智能化是傳感器技術的另一個重要特點,也是未來傳感器的重要發(fā)展方向。由于傳感器技術與通信技術、計算機技術的結合,傳感器實現(xiàn)了將敏感元件、電路、微處理器和通信接口等封裝在1個組件內,使傳感器不僅具有信息采集功能,還同時具有信息處理、數(shù)據(jù)存儲、自診斷、自修正、自保護、邏輯判斷、雙向通信、標準化數(shù)字輸出甚至是執(zhí)行控制功能。
(3)集成化
集成化主要指硬件和軟件兩方面的集成。包括單傳感器集成、多傳感器集成、傳感系統(tǒng)硬件集成及傳感系統(tǒng)軟硬件集成等多種方式。集成化特點使傳感器實現(xiàn)了多參數(shù)、信號處理等功能。由于MEMS工藝與CMOS等工藝無法兼容,集成化多指集成在傳感器外殼內封裝,尚難以實現(xiàn)單片集成。
(4)網絡化
由于MEMS技術、低功耗的電子電路技術、無線射頻技術和傳感器技術的發(fā)展,使得傳感器與計算模塊、通信模塊的集成成為可能,而隨著無線通信及組網技術的發(fā)展,大量傳感器可通過網絡構成協(xié)同工作的信息感知系統(tǒng),提高了傳感器的信息探測能力。
3、測試技術中傳感器的特性
傳感器的特性主要包括靜態(tài)特性和動態(tài)特性。衡量傳感器靜態(tài)特性的主要指標是度、靈敏度、線性度和重復性。而衡量傳感器動態(tài)特性的主要指標是時域性能指標和頻域性能指標。時域性能指標包括時間常數(shù)、上升時間、響應時間、超調量等;頻域性能指標包括通頻率、工作頻率、相位誤差等。