傳感技術(shù)的發(fā)展經(jīng)歷了三個(gè)階段，即結(jié)構(gòu)型傳感器、物性型傳感器和智能型傳感器。
(1)結(jié)構(gòu)型傳感器以其結(jié)構(gòu)部分變化或結(jié)構(gòu)部分變化后而日I起某種場(chǎng)的變化來反映被測(cè)量的大小及變化。經(jīng)常使用的方法是以傳感器機(jī)構(gòu)的位移或力的作用使傳感器產(chǎn)生電阻、電感或電容等值的變化來反映被測(cè)量的大小。
(2)物性型傳感器利用構(gòu)成傳感器的某些材料本身的物理特性在被測(cè)量的作用下發(fā)生變化，從而將被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)或其他信號(hào)輸出。例如，利用半導(dǎo)體材料在熱輻射照射下會(huì)產(chǎn)生各種光效應(yīng)的特性可制成光敏電阻、光敏三極管等光敏元件。利用二氧化錫材料在某些氣體作用下，其阻值會(huì)發(fā)生變化的特性可以制成氣敏元件。由于物性型傳感器無可動(dòng)部件，，因此，可減少對(duì)被測(cè)對(duì)象的影響，從而能解決結(jié)構(gòu)型傳感器不能解湊的某些參數(shù)及非接觸測(cè)量的問題，擴(kuò)大了傳感器應(yīng)用。
(3)智能型傳感器把傳感器與微處理器地結(jié)合成一個(gè)高度集成化的新型傳感器。它與結(jié)構(gòu)型、物性型傳感器相比．能瞬時(shí)獲取大量信息，對(duì)所獲得的信息還具有信號(hào)處理的功能，使信息的質(zhì)量提高，其功能也擴(kuò)展了。以網(wǎng)絡(luò)化智能傳感器為例，它以嵌入式微處理器為核心，集成了傳感單元、信號(hào)處理單元和網(wǎng)絡(luò)接口單元，使傳感器由單一功能、單一檢測(cè)向多功能和多點(diǎn)檢測(cè)發(fā)展；從被動(dòng)檢測(cè)向主動(dòng)進(jìn)行信息處理方向發(fā)展；從孤立元件向系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展；從就地測(cè)量向遠(yuǎn)距離實(shí)時(shí)在線測(cè)控發(fā)展，它已成為傳感器技術(shù)發(fā)展的主要方向之一。
