

微電子技術(shù)的發(fā)展在一方面使集成電路向減小加工尺寸、增大集成度發(fā)展,另一方面使平面集成向三維加工方向發(fā)展。九十年代出現(xiàn)了MEMS這種全新的設(shè)計(jì)理念,它是體積微型化、機(jī)電一體結(jié)合、用微電子方法代替?zhèn)鹘y(tǒng)機(jī)械方法進(jìn)行機(jī)械加工的新器件。微機(jī)電傳感技術(shù)的興起和發(fā)展標(biāo)志著傳感技術(shù)從單一的物性型傳感器進(jìn)入微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)為主導(dǎo)技術(shù)的階段。追溯MEMS技術(shù)發(fā)展的過程,微機(jī)電傳感器是MEMS技術(shù)實(shí)用化和產(chǎn)業(yè)化的先導(dǎo)產(chǎn)品和主流產(chǎn)品,對(duì)MEMS其它相關(guān)技術(shù)的發(fā)展起到推動(dòng)和引導(dǎo)作用。微機(jī)電傳感技術(shù)是關(guān)于微機(jī)電傳感器的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試和應(yīng)用的綜合技術(shù),對(duì)傳統(tǒng)的傳感技術(shù)進(jìn)行革命性的創(chuàng)新和改革,從直接可視、簡單結(jié)構(gòu)和過程,到微觀組合結(jié)構(gòu)和過程的變化潛在著許多高的和應(yīng)用機(jī)遇。
車輛行駛的 性和燃油經(jīng)濟(jì)性與輪胎的充氣壓力密切相關(guān)。充氣壓力過高或過低都將降低車輛性能,縮短輪胎使用壽命,并對(duì)環(huán)境產(chǎn)生不利影響。據(jù)統(tǒng)計(jì), 每年有26萬例交通事故是由于輪胎氣壓低或滲漏造成的,占交通事故的75%。而中國高速公路上交通事故的70%是由于爆胎引起的。輪胎質(zhì)量專家認(rèn)為,“保持標(biāo)準(zhǔn)的車胎氣壓行駛和及時(shí)發(fā)現(xiàn)車胎漏氣是防止爆胎的關(guān)鍵。”2002年NHTSA的聯(lián)邦法案,規(guī)定 汽車從2003~2006年,每年分別以15%、35%、65%、100%的比例裝配TPMS系統(tǒng),這將掀起汽車壓力傳感器應(yīng)用的高潮。輪胎壓力檢測(cè)系統(tǒng)即TPMS(TirePressureMonitoringSystem)是在每一個(gè)車胎中
安裝上胎壓監(jiān)測(cè)傳感器和射頻發(fā)射器,通過射頻技術(shù)與安裝在汽車儀表盤上的接受器及顯示器相配合,實(shí)時(shí)檢測(cè)輪胎氣壓,并可實(shí)現(xiàn)在氣壓異常時(shí)及時(shí)向駕駛員報(bào)警的裝置。使駕駛員可以隨時(shí)掌握輪胎的壓力情況,控制車輛以 佳的狀態(tài)工作,減少和預(yù)防由于輪胎原因而引起的交通事故的發(fā)生,提高車輛的行駛性能和 性。汽車輪胎工作于 的環(huán)境條件下,決定了對(duì)胎壓實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的壓力傳感器的,要求寬溫區(qū)(-40℃~+150℃),寬電源電壓范圍內(nèi)較高的實(shí)用總精度,性好,反應(yīng)快,低功耗,無線信號(hào)傳輸,抗干擾,,耐惡劣環(huán)境和低成本,只有滿足這樣的要求才能準(zhǔn)確地將汽車運(yùn)行上的有關(guān)量值進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè),將它們轉(zhuǎn)換成電信號(hào)供給 控制器。基于MEMS技術(shù)的傳感器芯片以其尺寸小、不改變壓力場狀態(tài)、動(dòng)態(tài)頻響高,具有可以獲得 準(zhǔn)確仿真的測(cè)試結(jié)果的特性,可以實(shí)現(xiàn)在汽車輪胎上的應(yīng)用,是較理想的器件。微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)已經(jīng)成為傳感器發(fā)展的核心技術(shù),且發(fā)展 為。采用這種技術(shù)設(shè)計(jì)與制造的傳感器產(chǎn)品以其優(yōu)越的性能和 的性價(jià)比取代了傳統(tǒng)的傳感器產(chǎn)品,也必將在汽車工業(yè)中很好的應(yīng)用。
由于汽車傳感器在汽車電子控制系統(tǒng)中的重要作用和增長的市場需求,世界各國對(duì)其理論研究、新材料應(yīng)用和新產(chǎn)品都都非常重視。未來的汽車用傳感器技術(shù),總的發(fā)展趨勢(shì)是多功能化、集成化、智能化。多功能化是指一個(gè)傳感器能檢測(cè)2個(gè)或者2個(gè)以上的特性參數(shù)或者化學(xué)參數(shù)。集成化是指利用IC制造技術(shù)和加工技術(shù)制作IC式傳感器。智能化是指傳感器與大規(guī)模集成電路相結(jié)合,帶有MPU,具有智能作用。的汽車用傳感器具有如下特點(diǎn):數(shù)字化信號(hào)輸出、線性化微處理器補(bǔ)償、傳感器信號(hào)共用和加工、傳感器間接測(cè)量、復(fù)合傳感器信號(hào)處理、IC化和加工等。