MEMS(Microelectro Mechanical Systems)微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，涉及電子、機械、材料、物理、化學(xué)、生物和醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。利用MEMS加工制備的新一代傳感器件，在傳輸前可進行信號的放大，減少干擾和傳輸噪聲，提高信噪比。同時，芯片上集成有反饋線路和補償線路，可地輸出的線性度和頻響特性。MEMS傳感器有微機械加速度傳感器、微機械角速度傳感器、微型壓力傳感器、微型磁傳感器、微型光傳感器、微型熱傳感器、微型氣敏傳感器、微型化學(xué)傳感器、微型生物傳感器和微型電場傳感器等。
MEMS傳感器目前主要應(yīng)用在汽車行業(yè)和電子產(chǎn)品中。如MEMS壓力傳感器在汽車電子控制系統(tǒng)中可用于測量進氣歧管壓力、油壓和輪胎氣壓等。特別值得一提的是測量燃油噴射的MEMS壓力傳感器，其長期與液體燃料接觸，承受較高的壓力，在這種苛刻的環(huán)境中表現(xiàn)出了較好的適應(yīng)性和性。蘋果公司的iphone4是使用陀螺儀的手機，并使用聲波傳感器(麥克風(fēng))聲音質(zhì)量，達到降噪的目的。
MEMS傳感器在農(nóng)業(yè)中的應(yīng)用主要集中在制造超光譜成像系統(tǒng)上，利用超光譜成像技術(shù)可以隨時觀測貨架上食物的霉變情況，也可用來鑒定商品商標(biāo)的真?zhèn)?。光子學(xué)和MEMS的機構(gòu)Infotonics與 康奈爾大學(xué)合作，研制了一種基于電容率的傳感器，可以實時監(jiān)視并固定牛奶中的病原體，如發(fā)生固化，病原體附著在傳感器陣列的分子探針上，引起電容發(fā)生變化，用其和參考傳感器的電容作對比，則可證明病原體的存在。這在檢查奶牛乳腺炎的過程中發(fā)揮了積極的作用，可以較早發(fā)現(xiàn)病癥，減少奶農(nóng)損失。
