

光柵即在一條氏方形光學(xué)玻璃片上均勻地刻上許多與運(yùn)動(dòng)方向垂直的線條,線條間距要根據(jù)測試精度決定。在玻璃(或金屬)上進(jìn)行刻劃,可一系列密集刻線,這種具有周期性的刻線分布的光學(xué)元件稱為光柵。
光柵式傳感器有如下特點(diǎn):
①。光柵式傳感器在大量程測量Ls度或直線位移方向僅僅低于激光干涉?zhèn)鞲衅鳌T趫A分度和角位移連續(xù)測量方向,光柵式傳感器屬于精度 高的。
?、诖罅砍虦y量兼有高分辨力。感應(yīng)同步器和磁柵式傳感器也具有大量程測量的特點(diǎn),但分辨力和精度都不如光柵式傳感器。
?、劭蓪?shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測量,易于實(shí)現(xiàn)測量及數(shù)據(jù)處理的自動(dòng)化。
?、芫哂休^強(qiáng)的抗干擾能力,對環(huán)境條件的要求不像激光干涉?zhèn)鞲衅髂菢訃?yán)格,主要適用于在實(shí)驗(yàn)室和環(huán)境較好的車間使用。
光柵式傳感器在幾何量測量中有著)、泛的應(yīng)用。與氏度(或直線位移)和角度(或角位移)測量有關(guān)的儀器都經(jīng)常使用光柵式傳感器。此外,在測量振動(dòng)、速度、應(yīng)力、應(yīng)變等機(jī)械量測量中也有應(yīng)用。